[发明专利]处理室的高效UV清洁

摘要

一种紫外(UV)固化室，能够对布置在衬底上的介质材料进行固化并对其进行原位清洁。串列处理室设有两个单独并相邻的处理区域，这些处理区域由盖子所覆盖的主体限定，盖子分别位于各个处理区域上方并具有对准的窗口。每个由耦合到盖子的壳体所覆盖的处理区域有一个或多个UV灯泡发射UV光，UV光被经过窗口导向位于处理区域内的衬底上。UV灯泡可以是发光二极管阵列或采用例如微波或射频源的灯泡。可以在固化处理期间以脉冲方式产生UV光。使用远程产生的氧基/臭氧和/或原位实现了室的清洁。使用灯阵列、衬底与灯头的相对运动以及灯反射器形状和/或位置的实时改变可以增强衬底照明的均匀性。

主权项

1.一种对半导体处理室进行清洁的方法，包括：提供限定了处理区域的紫外室；从所述处理区域的远程产生臭氧；将所述臭氧引入所述处理区域；和对所述处理区域内的表面进行加热，以使所述臭氧中至少一些分解为氧基和原子氧。