[发明专利]微机械结构体系统及其制造方法无效
| 申请号： | 200680012509.1 | 申请日： | 2006-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN101160257A | 公开（公告）日： | 2008-04-09 |
| 发明（设计）人： | 梶野修;富田浩稔;虫鹿由浩 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;B81C3/00;G02B26/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的微机械结构体系统包括：至少一部分由单晶材料形成的可动结构体(5)、支承可动结构体(5)的弹性支承部件(10)、至少一部分与可动结构体(5)相对的固定电极部(13、25)、以及具有电路部并固定有固定电极部(13、25)的基台(22)。固定电极部(13、25)包括相对可动结构体(5)而定位的第一电极层(上层固定电极层)(13)和相对基台(22)而定位的第二电极层(下层固定电极层)(25)，第一电极层(13)和第二电极层(25)经由粘接层(15、16)而接合。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 结构 体系 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微机械结构体系统，其特征在于，包括：可动结构体，其至少一部分由单晶材料形成；弹性支承部件，其支承所述可动结构体；固定电极部，其至少一部分与所述可动结构体相对；以及基台，其设有电路部以及与所述电路部电连接的所述固定电极部，其中，所述固定电极部包括相对于所述可动结构体而定位的第一电极层、和相对于所述基台而定位的第二电极层，所述第一电极层和所述第二电极层直接或者经由导电性物质而接合。
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