[发明专利]微小结构体的检查装置、检查方法、以及检查程序无效
| 申请号： | 200680007010.1 | 申请日： | 2006-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN101133320A | 公开（公告）日： | 2008-02-27 |
| 发明（设计）人： | 松本俊行;池内直树;八壁正巳;圆城寺启一;林圣人 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01N29/00 | 分类号： | G01N29/00;G01P21/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种微小结构体的检查装置、检查方法、以及检查程序。扬声器部(2)包括多个声源，从各个声源输出声波。通过从扬声器部(2)输出的为疏密波的声波的到达、即空气振动，使作为检测芯片(TP)的微小结构体的三轴加速度传感器的可动部分动作。根据经由探针(4)而给出的输出电压来测量随着该动作而发生改变的电阻值的变化。控制部(20)根据测量出的特性值、即测量数据来判断三轴加速度传感器的特性。另外，对于多个声源的间隔，通过根据至三轴加速度传感器的可动部分的距离差和测试声波的波长将声源的间隔设定为规定值，可以按照被合成的声波的合成声场变为最大的方式向可动部分施加作为合成波的测试声波。 | ||
| 搜索关键词： | 微小 结构 检查 装置 方法 以及 程序 | ||
【主权项】：
1.一种微小结构体的检查装置，对具有在基板上形成的可动部分的至少一个微小结构体的特性进行评价，所述微小结构体的检查装置(5，5#，5#a)的特征在于，包括在测试时向所述微小结构体输出声波的声波发生部，所述声波发生部包括：多个声源(2，ARY)，分别输出所述声波；以及调整部(30，30#，30#a，6)，用于将从所述多个声源输出的声波的合成波调整为规定的测试声波；所述微小结构体的检查装置(5，5#，5#a)还包括评价部(25)，该评价部(25)检测对所述测试声波予以响应的所述微小结构体的可动部分的动作，根据检测结果对所述微小结构体的特性进行评价。
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