[发明专利]微小结构体的检查装置、检查方法、以及检查程序

权利要求书

1.一种微小结构体的检查装置，对具有在基板上形成的可动部分的至少一个微小结构体的特性进行评价，所述微小结构体的检查装置(5，5#，5#a)的特征在于，

包括在测试时向所述微小结构体输出声波的声波发生部，

所述声波发生部包括：

多个声源(2，ARY)，分别输出所述声波；以及

调整部(30，30#，30#a，6)，用于将从所述多个声源输出的声波的合成波调整为规定的测试声波；

所述微小结构体的检查装置(5，5#，5#a)还包括评价部(25)，该评价部(25)检测对所述测试声波予以响应的所述微小结构体的可动部分的动作，根据检测结果对所述微小结构体的特性进行评价。

2.如权利要求1所述的微小结构体的检查装置，其特征在于，

如下配置所述多个声源：从所述多个声源分别至所述可动部分的距离的差为所述声波的波长的整数倍。

3.如权利要求1所述的微小结构体的检查装置，其特征在于，

将从所述多个声源分别输出的所述声波到达所述可动部分的时刻设定为相等。

4.如权利要求3所述的微小结构体的检查装置，其特征在于，

等间隔配置所述多个声源，将所述多个声源的驱动时间依次各延迟规定的时间而输出所述声波。

5.如权利要求1所述的微小结构体的检查装置，其特征在于，

所述微小结构体相当于加速度传感器和角速度传感器中的至少一个。

6.如权利要求5所述的微小结构体的检查装置，其特征在于，

所述加速度传感器和角速度传感器分别相当于多轴加速度传感器和多轴角速度传感器。

7.如权利要求1所述的微小结构体的检查装置，其特征在于，

所述调整部包括位置控制部(6)，该位置控制部(6)用于对指示予以响应而控制所述多个声源的位置，

各个所述声源可以移动。

8.如权利要求1所述的微小结构体的检查装置，其特征在于，

将所述多个声源设置成阵列状，

所述调整部包括用于控制所述多个声源的接通/断开的开关部(100)，

按照对指示予以响应的所述开关部的开关动作而选择设置成所述阵列状的所述多个声源。

9.如权利要求1所述的微小结构体的检查装置，其特征在于，

各个所述声源由热声发动机构成，所述热声发动机包括：热导电性的基板(40)；绝热层(NCS)，由形成在所述基板上的一个面上的纳米结晶硅层构成；以及发热体(LY)，被施加包含交流成分的电流而被电驱动；所述热声发动机通过所述发热体与周围的空气之间的热交换而产生声波。

10.如权利要求1所述的微小结构体的检查装置，其特征在于，

通过半导体工艺将各个所述多个声源一并形成在所述热导电性的同一基板上。

11.一种微小结构体的检查方法，对具有在基板上形成的可动部分的至少一个微小结构体的特性进行评价，所述微小结构体的检查方法的特征在于，包括以下步骤：

在测试时将从多个声源输出的声波的合成波调整为规定的测试声波而输出；

检测对所述测试声波予以响应的所述微小结构体的可动部分的动作，根据检测结果对所述微小结构体的特性进行评价。

12.一种微小结构体的检查程序，对具有在基板上形成的可动部分的至少一个微小结构体的特性进行评价，所述微小结构体的检查程序的特征在于，

使计算机执行包括以下步骤的微小结构体的检查方法：

在测试时将从多个声源输出的声波的合成波调整为规定的测试声波而输出；

检测对所述测试声波予以响应的所述微小结构体的可动部分的动作，根据检测结果对所述微小结构体的特性进行评价。