[发明专利]硅气体注射器及其制造方法

摘要

一种可用于批式热处理炉(batch thermal treatment oven)中的气体注射器套管(40)，其包含两个硅壳层(54、56)，所述壳层利用由微致的硅粉与可固化的氧化硅形成剂(curable silica－forming agent)所形成的黏着剂而接合在一起，该黏着剂例如为经过超音波均质化的旋涂玻璃。该套管在其末端上可具有一气体出口(52)，或可由硅盖件(86)所密封，且该套管在其侧边上具有侧面出口孔洞(84)。该硅注射器套管可与一硅塔(silicon tower)以及一硅衬垫结合使用，使得位于炉热区中的所有主体部分(bulk parts)是由硅所形成。

主权项

1、一种硅气体注射器，包含：一注射器套管，其由包含实质纯硅的两个壳层所形成，所述壳层由一种由硅粉体与一种氧化硅形成剂所形成的黏着剂而接合在一起，并在所述壳层之间形成一第一中央孔。