[实用新型]超大型等离子真空镀膜装置

摘要

本实用新型是关于一种超大型等离子真空镀膜装置，涉及真空离子镀膜设备。本实用新型是为解决对大型工件的等离子真空镀膜作业，而提出一种超大型等离子真空镀膜装置，其特征在于由第一、第二真空室、镀膜室、同步传动机构、行走架、采集器、偏压器件、加热器组成，镀膜室的两侧分别接置第一、第二真空室构成连通的一室，该室内设有行走架，行走架装接同步传动机构，镀膜室两端设有活动源座和离子发射源。本实用新型不仅可完成对大或超大型工件的镀膜作业，且由于采用了双向离子发射源的镀膜室，致使镀件可获得黑色、锆金色、玫瑰金色和咖啡色等丰富的色彩以及匀致性好、附着力强的镀层。本实用新型具有结构合理、效率高和节约工时的特点。

主权项

1、一种超大型等离子真空镀膜装置，其特征在于由第一、第二真空室、镀膜室、同步传动机构、行走架、采集器、偏压器件、加热器组成，镀膜室的两侧分别接置第一和第二真空室构成连通的一室，该室内设有行走架，行走架装接有同步传动机构，镀膜室两端设有活动源座和离子发射源；镀膜室还设有进气管和进气口，第一、第二真空室分别设有出气口。