[实用新型]用于处理平板显示器衬底的化学气相沉积系统

摘要

本实用新型提供一种用于清洗化学气相沉积室的装置。该化学气相沉积室包括将来自远程等离子体源的反应性物种绕过室的气体分配组件引入室中的入口和将来自远程等离子体源的反应性物种经由气体分配组件引入室中的入口。

主权项

1.一种用于处理平板显示器衬底的化学气相沉积系统，其特征在于包括：化学气相沉积室，包括：室体；衬底支撑；和气体分配组件；其中所述室体限定构造成将来自远程等离子体源的反应性物种经由所述气体分配组件提供至所述化学气相沉积室的处理区中的第一入口，并且所述室体限定构造成将来自相同或不同远程等离子体源的反应性物种绕过所述气体分配组件提供至所述化学气相沉积室的所述处理区中一个或多个第二入口。