[实用新型]制备金刚石薄膜和刻蚀碳膜的微波等离子体装置

摘要

一种制备金刚石薄膜和刻蚀碳膜的微波等离子体装置，它主要包括有一产生微波源的磁控管，磁控管通过一矩形波导管、三螺钉阻抗调配器接有微波谐振腔，在微波谐振腔内设置有石英管反应室，在微波谐振腔的边上还接有一短路活塞；所述的矩形波导管的前面还接有一环形器，并在其周围设置有连接于水冷却系统的水负载；所述的水冷却系统还连接于一设置在微波谐振腔上下的水冷支架，在微波谐振腔的石英管反应室内中心设置有基片台；所述的基片台上设置有连接外测量仪的热电偶传感器，且基片台的下部连接有一升降杆；所述的石英管反应室通过一高真空隔膜阀和高真孔微调阀与一真空泵相连，并在石英管反应室内设置有测量真空度的真空计；它具有结构简单、合理，使用方便、可靠等特点。

主权项

1、一种制备金刚石薄膜和刻蚀碳膜的微波等离子体装置，它至少包括有一产生微波源的磁控管，其特征在于该磁控管(1)至少通过一矩形波导管(8)、三螺钉阻抗调配器(4)接有微波谐振腔(14)，在微波谐振腔(14)内设置有石英管反应室，在微波谐振腔(14)的边上还接有一短路活塞(9)。