[实用新型]制造飞机炭刹车盘的炭管式多料柱大型气相沉积炉

摘要

本实用新型公开了制造飞机炭刹车盘的炭管式多料柱大型气相沉积炉，是在炉体内设有多个料柱单元，料柱单元最外层为保温筒，保温筒固定在炉底上并与料柱单元同心，保温筒内设有固定在炉底绝缘座上的筒形石墨发热体，石墨发热体的导电杆与电源汇流排连接，石墨发热体内底部设有石墨吊板和石墨托架，筒形沉积室放置于石墨吊板上，进气管穿过炉底并伸入沉积室中心，本实用新型具有适用于大批量生产、工艺适应性较强、可用于等温法和压差法、造价相对低廉采用石墨电阻方式加热、不需大型感应器和石墨发热体的特点。

主权项

1、制造飞机炭刹车盘的炭管式多料柱大型气相沉积炉，是由水冷炉底(1)、水冷炉体(2)、真空接口(3)和水冷炉盖(4)组成，其特征是在炉体(2)内设有多个料柱单元(10)，每个料柱单元(10)最外层为保温筒(7)，保温筒(7)固定在炉底上并与料柱单元(10)同心，保温筒(7)的上端设有保温盖(6)，保温筒(7)内设有固定在炉底(1)绝缘座上的筒形石墨发热体(8)，石墨发热体(8)底面两侧凸耳部各有一个导电杆连接孔，导电杆(15)上端穿过炉底(1)与石墨发热体(8)紧密连接，下端与电源汇流排(16)连接，石墨发热体(8)内底部设有石墨吊板(13)和石墨托架(14)，筒形沉积室(9)放置于石墨吊板(13)上，进气管(11)穿过炉底并伸入沉积室(9)中心。