[实用新型]一种离子源引出电极系统无效
| 申请号： | 200620012983.1 | 申请日： | 2006-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN2906906Y | 公开（公告）日： | 2007-05-30 |
| 发明（设计）人： | 伍三忠;戴习毛;钟新华;刘仁杰 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子源引出电极系统，包括：连接杆、屏蔽筒、减速电极、绝缘子、加速电极座、加速电极。其中所述连接杆连接固定整个引出电极系统；所述减速电极螺钉连接连接杆；所述屏蔽筒安装在减速电极上；所述绝缘子安装在屏蔽筒和加速电极座之间；所述的加速电极镶嵌在加速电极座上。本实用新型结构紧凑稳定可靠，具有抗热变形、抗离子溅射污染性能特点；加速电极镶嵌式结构更换操作方便，解决了以前一般引出电极系统的缺点和局限性，满足离子注入机高可靠性高标准要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子源 引出 电极 系统 | ||
【主权项】：
1.一种离子源引出电极系统，其特征在于：包括连接杆、屏蔽筒、减速电极、绝缘子、加速电极座、加速电极，其中所述连接杆连接固定整个引出电极系统；所述减速电极螺钉连接连接杆；所述屏蔽筒安装在减速电极上；所述绝缘子安装在屏蔽筒和加速电极座之间；所述的加速电极镶嵌在加速电极座上。
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