[实用新型]离子注入机磁分析系统

摘要

本实用新型公开了一种离子注入机磁分析系统，包括电源控制器、大功率开关电源、霍尔放大器、霍尔探头和磁分析器，其中电源控制器将磁分析器所需的磁场数字信号转化成模拟信号送到大功率开关电源的磁场控制端，大功率开关电源接受控制信号后，输出一定的电压到此分析器，该电压在磁分析器上、下线包中产生一定的电流，并产生一定的磁场，置于分析器磁场中的霍尔探头检测到磁场，并转化为一个微小的电压量，经过霍尔放大器放大后送到大功率开关电源的比较端与磁场控制端设定的磁场量进行比较，大功率开关电源根据比较结果调整输出电压，使霍尔探头检测到的实际磁场与设定磁场一致。本实用新型产生的磁场稳定，使离子注入束流稳定性好及束流纯度高。

主权项

1.一种离子注入机磁分析系统包括大功率开关电源，霍尔放大器，电源控制器和磁分析器，其特征为：电源控制器与大功率开关电源的磁场控制端相连接，所述置于磁分析器中的霍尔探头与霍尔放大器相连接，霍尔放大器与大功率开关电源相连接，大功率开关电源又与磁分析器相连接。