[发明专利]有机发光显示器及沉积法无效
| 申请号： | 200610172884.4 | 申请日： | 2006-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN1976055A | 公开（公告）日： | 2007-06-06 |
| 发明（设计）人： | 金汉基;李奎成;金敬桓;琴旻钟 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | H01L27/32 | 分类号： | H01L27/32;H01L21/283;H01L21/31;H01L51/56;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 张波 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种有机发光显示器和沉积法，用于通过将Ar与比Ar气体重的惰性气体混合，利用箱式阴极溅射法或对面靶溅射法沉积电极或钝化层。本发明实施例提供一种有机发光显示器，包括：基板；形成在基板上的薄膜晶体管；形成在薄膜晶体管上的第一电极；形成在第一电极上的有机层；及通过将Ar气体与比所述Ar气体重的惰性气体混合，利用箱式阴极溅射法或对面靶溅射法溅射沉积在有机层上的第二电极。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 发光 显示器 沉积 | ||
【主权项】：
1、一种有机发光显示器，包括：基板；形成在所述基板上的薄膜晶体管；形成在所述薄膜晶体管上的第一电极；形成在所述第一电极上的有机层；及通过将Ar气体与比Ar气体重的惰性气体混合，利用箱式阴极溅射法或对面靶溅射法在所述有机层上溅射沉积的第二电极层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
