[发明专利]基板检查系统

摘要

提供一种基板检查系统，其在执行检查的工序被限定时，也能容易的判别在元件安装基板上品质下降的部位及其品质下降的原因。由设置在最后的回流焊工序中的检查装置(1)、分别设置在其前两个工序中的图像获取装置(2A、2B)、图像显示装置(3)构成网络系统。在检查装置中，对每个元件求出在检查规定数的基板期间所得到的计测值相对判定基准值的安全裕度，并将该安全裕度小的元件的元件代码发送到其他装置(2A、2B、3)。在图像获取装置中，将来自检查装置的元件代码所对应的图像存储在存储器中。在图像显示装置中，针对元件代码所对应的元件，从检查装置及图像获取装置接收图像的发送，并按照每个相同基板及相同元件显示各工序的图像。

主权项

1.一种基板检查系统，其特征在于，具有：外观检查装置，其配备在为了制造元件安装基板而依次执行的多个工序中的最初工序以外的工序中；图像获取装置，其配备在设置了上述外观检查装置的工序之前的至少一个工序中，且能够与上述外观检查装置进行通信；图像显示装置，其从上述外观检查装置以及图像获取装置接收图像的供给，并显示这些所供给的图像，上述外观检查装置具备：拍摄机构，其用于拍摄检查对象的基板；检查执行机构，其分别利用通过上述拍摄机构的拍摄而生成的图像，对检查对象的基板的各被检查部位进行规定的计测处理，同时，将通过计测处理所得到的计测值与规定的判定基准值进行比较，从而判定上述被检查部位是否合格；分析对象检测机构，其以上述拍摄机构以及检查执行机构处理了多张同一种类的基板为条件，针对这些多张基板，对每个被检查部位求出计测值相对上述判定基准值的安全裕度，并基于该安全裕度来检测出分析对象的被检查部位；发送机构，其将表示由上述分析对象检测机构所检测出的被检查部位的识别信息发送到上述图像获取装置以及图像显示装置，上述图像获取装置具备：拍摄机构，其用于拍摄执行完设置有自身装置的工序后的基板；图像存储机构，其执行如下处理：根据接收到从上述检查装置所发送的上述识别信息，而从通过上述拍摄机构的拍摄而生成的图像中抽取与上述识别信息所表示的被检查部位对应的图像，并将该图像存储在自身装置的存储器或设置在自身装置外的图像存储机构中，上述图像显示装置基于从上述外观检查装置发送的识别信息，针对作为上述分析对象而被检测出的被检查部位，从外观检查装置接收对于在特定基板的检查时所生成的该被检查部位的图像的发送，同时，从上述图像获取装置接收对于与针对上述特定基板而从外观检查装置发送的图像相同的被检查部位的图像的发送，并以相互能够对照的状态显示所发送的各图像。