[发明专利]一种TFT LCD阵列基板结构及其制造方法有效

专利信息
申请号: 200610149882.3 申请日: 2006-10-27
公开(公告)号: CN1945838A 公开(公告)日: 2007-04-11
发明(设计)人: 彭志龙;龙春平;朴云峰 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L23/522;H01L21/84;H01L21/768;G02F1/136
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 代理人: 刘芳
地址: 100016*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种TFT LCD阵列基板结构,包括:基板;栅电极、栅极扫描线和公共电极,其中公共电极为存储电容的底电极;栅绝缘层;有源层及其上的沟道;数据扫描线、源电极和漏电极;形成在栅绝缘层之上的存储电容顶电极;钝化层及形成在漏电极及存储电容顶电极之上的钝化层过孔或沟槽;形成在钝化层上的像素电极,并通过钝化层过孔或沟槽与漏电极及存储电容顶电极连接。本发明同时公开了该阵列基板结构的制造方法。本发明可缩小挡光条面积,缩小了挡光条与透明像素电极,公共电极与透明电极之间的交叠面积,从而增加了开口率和/或提高存储电容,并进一步提高TFTLCD的显示品质。
搜索关键词: 一种 tft lcd 阵列 板结 及其 制造 方法
【主权项】:
1、一种TFT LCD阵列基板结构,其特征在于,包括:一基板;一栅电极、栅极扫描线和公共电极,均形成在所述基板之上,其中公共电极为存储电容的底电极;一个栅绝缘层,形成在所述栅电极、栅极扫描线、公共电极和基板之上;一有源层及其上的沟道,形成在所述栅电极之上;一数据扫描线、源电极和漏电极,均形成在所述栅绝缘层之上;一存储电容顶电极,形成在所述栅绝缘层之上;一钝化层,形成在所述栅绝缘层、数据扫描线、源电极、漏电极及存储电容顶电极之上,并在所述漏电极及存储电容顶电极之上形成钝化层过孔或沟槽;一像素电极,形成在所述钝化层上,并通过所述钝化层过孔或沟槽与漏电极及存储电容顶电极连接。
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