[发明专利]一种TFT LCD阵列基板结构及其制造方法有效
申请号: | 200610149882.3 | 申请日: | 2006-10-27 |
公开(公告)号: | CN1945838A | 公开(公告)日: | 2007-04-11 |
发明(设计)人: | 彭志龙;龙春平;朴云峰 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L23/522;H01L21/84;H01L21/768;G02F1/136 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人: | 刘芳 |
地址: | 100016*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种TFT LCD阵列基板结构,包括:基板;栅电极、栅极扫描线和公共电极,其中公共电极为存储电容的底电极;栅绝缘层;有源层及其上的沟道;数据扫描线、源电极和漏电极;形成在栅绝缘层之上的存储电容顶电极;钝化层及形成在漏电极及存储电容顶电极之上的钝化层过孔或沟槽;形成在钝化层上的像素电极,并通过钝化层过孔或沟槽与漏电极及存储电容顶电极连接。本发明同时公开了该阵列基板结构的制造方法。本发明可缩小挡光条面积,缩小了挡光条与透明像素电极,公共电极与透明电极之间的交叠面积,从而增加了开口率和/或提高存储电容,并进一步提高TFTLCD的显示品质。 | ||
搜索关键词: | 一种 tft lcd 阵列 板结 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1、一种TFT LCD阵列基板结构,其特征在于,包括:一基板;一栅电极、栅极扫描线和公共电极,均形成在所述基板之上,其中公共电极为存储电容的底电极;一个栅绝缘层,形成在所述栅电极、栅极扫描线、公共电极和基板之上;一有源层及其上的沟道,形成在所述栅电极之上;一数据扫描线、源电极和漏电极,均形成在所述栅绝缘层之上;一存储电容顶电极,形成在所述栅绝缘层之上;一钝化层,形成在所述栅绝缘层、数据扫描线、源电极、漏电极及存储电容顶电极之上,并在所述漏电极及存储电容顶电极之上形成钝化层过孔或沟槽;一像素电极,形成在所述钝化层上,并通过所述钝化层过孔或沟槽与漏电极及存储电容顶电极连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
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H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的