[发明专利]网络互穿式金刚石涂层多孔电极的制备方法

摘要

本发明网络互穿式金刚石涂层多孔电极的制备方法，采用碳质材料中间相和不同填充物制成的多孔活性炭材料为基体，液态丙酮为碳源，氢气为载体，用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)工艺在多孔活性炭衬底上制备蜂窝状金刚石涂层多孔电极；反应室抽真空后充入反应气体，调整反应室压力后开始化学气相沉淀法(CVD)沉积金刚石涂层，工艺参数为：压力2～4kPa，气体总流量90～120毫升/分，丙酮/氢气为1～3％(体积比)。本发明解决了金刚石多孔电极制备成本高、工艺复杂以及电极面积受到限制的问题。

主权项

1.一种网络互穿式金刚石涂层多孔电极的制备方法，其特征在于，——采用多孔活性碳材料为基体，液态丙酮为碳源，氢气为载体，用微波等离子体化学气相沉积工艺在多孔活性碳衬底上制备蜂窝状金刚石涂层多孔电极；——反应室抽真空后充入反应气体氢气和丙酮，调整反应室压力后用化学气相沉淀法沉积金刚石涂层，其工艺参数为：压力0.5～5千帕，气体总流量90～120毫升/分，丙酮/氢气的体积比为1～3％。