[发明专利]溶剂回收系统有效
| 申请号： | 200610145977.8 | 申请日： | 2006-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN1974459A | 公开（公告）日： | 2007-06-06 |
| 发明（设计）人： | 升芳明;高濑真治;楫间淳生 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 雒运朴;徐谦 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种可从涂敷的涂敷液中高效地回收溶剂并进行再利用的系统。沿运送线从上游侧依次配置有基板送入部(1)、涂敷装置(2)及减压干燥装置(3)，从减压干燥装置(3)中引出有排气用配管(31)，在该配管(31)上设置真空泵(32)，在该真空泵(32)的下游侧配置液化收集装置(4)，从上述液化收集装置(4)中引出有溶剂回收用配管(5)，在该配管(5)上设置送液泵(6)，在该送液泵(6)的下游侧配置脱水装置(7)及过滤器(8)，在液化收集装置(4)内液化的溶剂，通过送液泵(6)被送到缓冲罐(9)。积存于该缓冲罐(9)内的溶剂被用于预备滚筒(22)的清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 溶剂回收 系统 | ||
【主权项】：
1.一种溶剂回收系统，与涂敷装置邻接地配置减压干燥装置，且对在上述减压干燥装置内挥发的基板表面的涂敷液中的溶剂进行回收，该溶剂回收系统的特征在于，在使上述减压干燥装置内减压的真空泵的下游侧设置液化收集装置，利用该液化收集装置对上述溶剂进行液化并回收。
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