[发明专利]电感器结构及集成电路结构

摘要

本发明揭示一种电感器结构以及包括该电感器结构的集成电路结构。所述电感器结构位于一半导体基底中，利用多层内连线结构中的最上一层内连线的制作以同时制得一螺旋状的第一导电层，位于第一介电层中，具有与最上层的内连线相同的材料。以及，利用多层内连线结构中的介层插塞的制作以同时制得一第二导电层，填入于一位于第二介电层中的沟渠状开口中。第二导电层位于第一导电层下方，而与第一导电层底部连接为一整体。如此，增加电感导线的截面积，可降低电阻，获得较高的Q值。

主权项

1.一种电感器结构，位于半导体基底中，该半导体基底包括最上层的内连线位于第一介电层中、第二介电层位于第一介电层的下方、及至少一介层洞位于第二介电层中而填有介层插塞与该最上层的内连线电连接，该电感器结构包括：第一导电层，螺旋状，位于第一介电层中，包括与该最上层的内连线相同的材料；及第二导电层，填入于位于第二介电层中的沟渠状开口中，位于第一导电层下方，以顶部与第一导电层底部连接，具有与该螺旋状相同的形状，并包括与该介层插塞相同的材料。