[发明专利]基板定位装置和基板收纳单元

摘要

本发明提供一种在负载锁定室等收纳基板的容器内，极大地缩小基板周边的空间，进行基板定位的基板定位装置。基板定位装置具备按压与基板(S)的搬送方向垂直的一对端面(S1)的一对第一定位器(7)；和按压沿基板(S)的搬送方向的一对端面(S2)的一对第二定位器(8)，第一和第二定位器(7、8)分别具备汽缸机构(71、81)和通过汽缸机构(71、81)的活塞(74、84)的前进，按压端面(S1、S2)的按压件(70、80)，第一定位器(7)还具备驱动力转换机构(72)，所述驱动力转换机构(72)通过活塞(74)的前进，驱动按压件(70)在退避到基板(S)的搬送路径外的退避位置和能按压基板(S)的可按压位置之间移动，且在所述可按压位置沿按压方向移动。

主权项

1.一种基板定位装置，将从设置在容器的侧壁上的开口沿水平方向搬送、在所述容器内载置在基板载置部上的矩形形状的基板定位在所述基板载置部上，其特征在于：具备：按压与基板的搬送方向垂直的一对第一端面的一对第一按压机构；和按压沿着基板的搬送方向的一对第二端面的一对第二按压机构，所述第一按压机构及第二按压机构分别具备驱动机构、和通过所述驱动机构的驱动，按压所述第一端面及第二端面的按压件，所述一对第一按压机构中的至少一个，还具有驱动力转换机构部，所述驱动力转换机构部通过所述驱动机构的驱动，使所述按压件在退避到基板的搬送路径外的退避位置和能按压基板的可按压位置之间移动，且在所述可按压位置沿按压方向移动。