[发明专利]感光性树脂母体组合物有效
| 申请号： | 200610114895.7 | 申请日： | 2000-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN1971418A | 公开（公告）日： | 2007-05-30 |
| 发明（设计）人： | 富川真佐夫;諏访充史;藤田阳二 | 申请（专利权）人： | 东丽株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/022 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈昕 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种与正型感光性树脂母体组合物有关的、能够碱性显影的感光性组合物，其特征在于，含有以下述通式(1)所示结构单元作为主要成分的聚合物，且满足条件(b)相对于100重量份的聚合物，含有通式(8)所示的酚化合物1～50重量份与萘醌二叠氮基磺酸酯1～50重量份。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 母体 组合 | ||
【主权项】：
1.一种正型感光性树脂母体组合物，其特征在于，含有以下述通式(1)所示结构单元作为主要成分的聚合物，且满足下述条件(b)，(b)相对于100重量份的聚合物，含有通式(8)所示的酚化合物1～50重量份与萘醌二叠氮基磺酸酯1～50重量份；通式(1)![]()
在通式(1)中，R1表示至少具有2个以上碳原子的2价～8价有机基团，R2表示具有至少2个以上碳原子的2价～6价有机基团，R3表示氢或碳原子数1～10的有机基团，n为10～100000的整数，m为0～2的整数，p、q为0～4的整数，p与q不能同时为0；通式(8)![]()
式中，R23、R24、R26、R27是氢原子、碳原子数1～8的烷基、烷氧基、羧基、酯基中的任一种，R25是至少1个含羟基，其它为氢原子、碳原子数1～8的烷基，aa、bb、cc、dd是0～3的整数，其中aa+bb≤5，bb+dd≤5，aa+bb＞0，ee为1～3的整数。
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