[发明专利]绝缘性靶材及其制造方法、导电性复合氧化膜及设备有效
| 申请号： | 200610111222.6 | 申请日： | 2006-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN1916229A | 公开（公告）日： | 2007-02-21 |
| 发明（设计）人： | 大桥幸司;岩下节也;木岛健;滨田泰彰 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种绝缘性靶材，该绝缘性靶材质地均匀且绝缘性高，并具有良好的特性，用于制造导电性复合氧化膜。上述绝缘性靶材是用于获得以通式ABO3表示的导电性复合氧化膜的绝缘性靶材，包括A元素的氧化物、B元素的氧化物以及Si化合物及Ge化合物中的至少一种。 | ||
| 搜索关键词： | 绝缘性 及其 制造 方法 导电性 复合 氧化 设备 | ||
【主权项】：
1.一种绝缘性靶材，用于获得以通式ABO3表示的导电性复合氧化膜，其特征在于包括：A元素的氧化物；B元素的氧化物；以及Si化合物及Ge化合物中的至少一种。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于精工爱普生株式会社，未经精工爱普生株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610111222.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：吗替麦考酚酯分散片及其制备方法
- 下一篇：啤酒厂热能回收装置
- 同类专利
- 专利分类
