[发明专利]可电测加速度和电压的无源测量器件及其制造方法

摘要

本发明提供了加速度和电压测量器件及其制造方法。所述加速度和电压测量器件包括：导电板，在第一绝缘层的顶表面上；第二绝缘层，在所述导电板的顶表面上，所述板的所述顶表面在所述第二绝缘层中的开口中露出；导电纳米管，在所述开口上悬置；以及与所述纳米管的导电接触。

主权项

1.一种器件，包括：导电板，在第一绝缘层的顶表面上；第二绝缘层，在所述导电板的顶表面上，所述板的所述顶表面在所述第二绝缘层中的开口中露出；一个或多个导电纳米管的一组或多组，所述纳米管的末端的第一和第二端部区域与所述第二绝缘层接触，所述纳米管的中间区域悬置于所述开口上，所述一个或多个纳米管的不同组中的纳米管互相不电接触；以及一个或多个导电接触，所述一个或多个接触的每个与所述一个或多个纳米管的不同组的纳米管的第一端部区域电接触。