[发明专利]薄膜晶体管阵列面板及其制造方法

摘要

本发明提供了一种薄膜晶体管阵列面板，包括衬底、形成在所述衬底上的数据线和栅电极、形成在所述数据线和栅电极上的绝缘层、形成在所述绝缘层上的半导体层、形成在所述半导体层上漏电极和源电极、形成在所述漏电极和源电极上的包括暴露部分所述数据线的第一接触孔、暴露部分所述源电极的第二接触孔、暴露部分所述漏电极的第三接触孔和暴露部分所述栅电极的第四接触孔的钝化层、形成在所述钝化层上并通过所述第一接触孔和第二接触孔连接到所述数据线和源电极的第一连接器、形成在所述钝化层上并通过所述第四接触孔连接到所述栅电极的栅极线、和通过所述第三接触孔连接到所述漏电极的像素电极。

主权项

1.一种薄膜晶体管阵列面板，包括：衬底；数据线和栅电极，形成在所述衬底上；绝缘层，形成在所述数据线和栅电极上；半导体层，形成在所述绝缘层上；漏电极和源电极，形成在所述半导体层上；钝化层，形成在所述漏电极和源电极上，其中所述钝化层包括暴露部分所述数据线的第一接触孔、暴露部分所述源电极的第二接触孔、暴露部分所述漏电极的第三接触孔和暴露部分所述栅电极的第四接触孔；第一连接器，形成在所述钝化层上并通过所述第一和第二接触孔连接到所述数据线和源电极；栅极线，形成在所述钝化层上并通过所述第四接触孔连接到栅电极；和像素电极，通过所述第三接触孔连接到所述漏电极。