[发明专利]随机脉冲直流电源供应器无效
| 申请号： | 200610095617.1 | 申请日： | 2006-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN1884613A | 公开（公告）日： | 2006-12-27 |
| 发明（设计）人： | 细川昭弘 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 张政权 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明揭示一种电源供应器，其是用于一具有一标的物及一基材支撑件的物理气相沉积室，该电源供应器包含一电源，该电源是配置以用一相对于基材支撑件的溅射电压偏压该标的物，且配置以当在该物理气相沉积室中侦测到一电弧后，以约一秒的期间约10或更多次的反转电压来偏压该标的物。 | ||
| 搜索关键词： | 随机 脉冲 直流电源 供应 | ||
【主权项】：
1.一种用于在一物理气相沉积室中偏压一标的物的方法，该方法包含：用一电压将该标的物偏压以在该室内产生一等离子体；及当在该物理气相沉积室内部侦测到一电弧后，在约一秒的期间反转该电压至少二次。
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