[发明专利]随机脉冲直流电源供应器无效
申请号: | 200610095617.1 | 申请日: | 2006-06-21 |
公开(公告)号: | CN1884613A | 公开(公告)日: | 2006-12-27 |
发明(设计)人: | 细川昭弘 | 申请(专利权)人: | 应用材料股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/54 | 分类号: | C23C14/54;C23C14/34 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 张政权 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 随机 脉冲 直流电源 供应 | ||
【权利要求书】:
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