[发明专利]电磁辐射检测设备、辐射检测设备和系统及激光处理方法有效
申请号: | 200610092648.1 | 申请日: | 2006-06-13 |
公开(公告)号: | CN1881598A | 公开(公告)日: | 2006-12-20 |
发明(设计)人: | 八木朋之;远藤忠夫;龟岛登志男;竹中克郎;横山启吾 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | H01L27/14 | 分类号: | H01L27/14;H01L23/544;H01L21/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 李春晖 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及电磁辐射检测设备、辐射检测设备、系统和激光处理方法,其中开关元件被放置在绝缘衬底上。在该开关元件上放置将电磁辐射转换为电信号的转换元件。在该转换元件上放置用于标记开关元件的位置的部件。利用转换元件上的所述部件可以定位找到有缺陷的开关元件的位置。通过发射激光并聚焦在所述部件上,就有可能准确地进行修复。 | ||
搜索关键词: | 电磁辐射 检测 设备 辐射 系统 激光 处理 方法 | ||
【主权项】:
1.一种电磁辐射检测设备,包括:绝缘衬底;放置在所述绝缘衬底上的开关元件;放置在所述开关元件上的光电转换元件;和放置在所述光电转换元件上的部件,该部件对应于所述开关元件的位置进行标记。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
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