[发明专利]电磁辐射检测设备、辐射检测设备和系统及激光处理方法有效

专利信息
申请号: 200610092648.1 申请日: 2006-06-13
公开(公告)号: CN1881598A 公开(公告)日: 2006-12-20
发明(设计)人: 八木朋之;远藤忠夫;龟岛登志男;竹中克郎;横山启吾 申请(专利权)人: 佳能株式会社
主分类号: H01L27/14 分类号: H01L27/14;H01L23/544;H01L21/00
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 李春晖
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明涉及电磁辐射检测设备、辐射检测设备、系统和激光处理方法,其中开关元件被放置在绝缘衬底上。在该开关元件上放置将电磁辐射转换为电信号的转换元件。在该转换元件上放置用于标记开关元件的位置的部件。利用转换元件上的所述部件可以定位找到有缺陷的开关元件的位置。通过发射激光并聚焦在所述部件上,就有可能准确地进行修复。
搜索关键词: 电磁辐射 检测 设备 辐射 系统 激光 处理 方法
【主权项】:
1.一种电磁辐射检测设备,包括:绝缘衬底;放置在所述绝缘衬底上的开关元件;放置在所述开关元件上的光电转换元件;和放置在所述光电转换元件上的部件,该部件对应于所述开关元件的位置进行标记。
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