[发明专利]加速度传感器

摘要

本发明提供了一种具有很高灵敏度的超微半导体加速度传感器。该加速度传感器有：块状部分，该块状部分在硅半导体基体的中心部分；框架，该框架形成于基体的边缘部分上；薄弹性支承臂，该薄弹性支承臂在该块状部分和框架的顶表面上，并连接该块状部分和框架；以及应变仪，该应变仪由形成于弹性支承臂的顶表面上的多对压敏电阻器构成。在弹性支承臂顶表面上的一对Z轴方向应变仪之间的距离比一对X轴方向应变仪之间的距离长0.4L至1.2L，或者短1.0L至1.8L，从而使Z轴方向应变仪的输出与X轴方向应变仪的输出为相同水平。也可选择，由Z轴方向应变仪与X轴方向所形成的角度为10至30度或65至90度，因此，Z轴方向应变仪的输出与X轴方向应变仪的输出为相同水平。

主权项

1.一种加速度传感器，包括：块状部分，该块状部分设置在加速度传感器的中心，并有顶表面；厚框架，该厚框架环绕块状部分并离开该块状部分一预定距离，且该厚框架有顶表面；多个弹性支承臂，各弹性支承臂从块状部分的顶表面边缘伸出，并桥接块状部分的顶表面边缘和厚框架的顶表面内边缘，且将块状部分悬挂在厚框架的内部；两个第一压敏电阻器，这两个第一压敏电阻器布置在各弹性支承臂的顶表面上，它们沿弹性支承臂的延伸方向彼此离开一定距离，并沿该弹性支承臂的延伸方向而延伸；以及两个第二压敏电阻器，这两个第二压敏电阻器布置在有两个第一压敏电阻器的弹性支承臂的顶表面上，两个第一压敏电阻器检测沿弹性支承臂延伸方向的加速度，而两个第二压敏电阻器检测沿与块状部分的顶表面垂直的方向的加速度，其特征在于：所述两个第二压敏电阻器与弹性支承臂的延伸方向成一定角度。