[发明专利]微波等离子体装置及制备金刚石薄膜和刻蚀碳膜的方法

摘要

一种微波等离子体装置及制备金刚石薄膜和刻蚀碳膜的方法，该装置至少包括一产生微波源的磁控管，它通过一矩形波导管、三螺钉阻抗调配器接有微波谐振腔，在微波谐振腔内设置有石英管反应室，在微波谐振腔的边上还接有一短路活塞；制备金刚石薄膜是：它将基片放到基片台上，打开真空泵，逐步提高磁控管的工作电压并产生等离子体；通入含碳的工作气体，调节三螺钉阻抗调配器，使石英管反应室内得到最大的微波功率，经过20－40分钟稳定工作，完成基片的形核工作；对完成形核的基片再通入含碳的工作气体，经过2－5小时稳定工作，在基片上制备出相应厚度的金刚石薄膜；利用上述装置可以进行刻蚀碳膜；它具有结构简单、合理，使用方便、可靠等特点。

主权项

1、一种微波等离子体装置，它至少包括有一产生微波源的磁控管，其特征在于该磁控管(1)至少通过一矩形波导管(8)、三螺钉阻抗调配器(4)接有微波谐振腔(14)，在微波谐振腔(14)内设置有石英管反应室，在微波谐振腔(14)的边上还接有一短路活塞(9)。