[发明专利]位置控制装置、测量装置以及加工装置

摘要

本发明提供位置控制装置、测量装置以及加工装置。在包括具有控制电机电流(I)的电流控制环和控制电机速度(Vm)的电机速度控制环的驱动控制部(5)、控制被驱动体(2)的速度(Vd)的速度控制环(3)、以及控制被驱动体(2)的位置(Pd)的位置控制环(4)的4层环位置控制装置(1)中，设置加法器(6)，对来自位置控制环(4)的输出值和来自速度控制环(3)的输出值进行加法计算，将结果输入电机速度控制环。通过设置加法器(6)，位置控制装置(1)作为线性滞后系统的控制装置进行动作，因此即使从抑制被驱动体(2)的振动性的动作的角度设定了位置控制装置(1)的各项传递函数，也能可靠地防止发生过冲。

主权项

1.一种位置控制装置，根据预定的位置指令控制由驱动装置驱动的被驱动体的位置，其特征在于，包括：位置控制环，具有将上述被驱动体的当前位置与上述位置指令进行比较的位置比较器、和根据该位置比较器的比较结果进行上述被驱动体的位置特性补偿的位置特性补偿器；速度控制环，具有将来自上述位置特性补偿器的输出值作为速度指令，将上述被驱动体的当前速度与该速度指令进行比较的速度比较器，和根据该速度比较器的比较结果进行上述被驱动体的速度特性补偿的速度特性补偿器；加法器，对来自上述位置特性补偿器的输出值和来自上述速度特性补偿器的输出值进行加法计算；驱动控制部，根据上述加法器的加法计算结果，使上述驱动装置动作来驱动上述被驱动体。