[发明专利]位置控制装置、测量装置以及加工装置有效
| 申请号： | 200610001477.7 | 申请日： | 2006-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN1811646A | 公开（公告）日： | 2006-08-02 |
| 发明（设计）人： | 石川修弘 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G05D3/12 | 分类号： | G05D3/12 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 季向冈 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 位置 控制 装置 测量 以及 加工 | ||
【权利要求书】：
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