[发明专利]基板检查装置及其检查逻辑设定方法和检查逻辑设定装置

摘要

基板检查装置及其检查逻辑设定方法和检查逻辑设定装置。本发明的课题是提供可自动生成基板检查中所使用的检查逻辑的技术。作为解决手段，检查逻辑设定装置取得多个第一图像与多个第二图像，所述多个第一图像是对通过检查应该被检测出的部件进行拍摄而得到的，所述多个第二图像是对通过检查应该被排除的部件进行拍摄而得到的，将所述多个第一图像以及所述多个第二图像中的各个图像分割为多个块，针对所述每个块计算所述多个第一图像和所述多个第二图像之间的颜色距离，从所述多个块中选择一个或一个以上颜色距离相对大的块，将选择出的块设定为所述区域条件。

主权项

1.一种基板检查装置的检查逻辑设定方法，生成在基板检查装置中使用的检查逻辑，该基板检查装置以不同的入射角对基板上的安装部件照射多种颜色的光，从对其反射光进行拍摄而得到的图像中提取由预定的区域条件规定的检查区域，并从该检查区域中提取满足预定的颜色条件的区域，根据所提取的区域是否满足预定的判断条件来检查所述部件的安装状态，包括：取得多个第一图像与多个第二图像的步骤，所述多个第一图像是对通过检查应该被检测出的部件进行拍摄而得到的，所述多个第二图像是对通过检查应该被排除的部件进行拍摄而得到的；将所述多个第一图像以及所述多个第二图像中的各个图像分割为多个块的步骤；针对所述每个块计算所述多个第一图像和所述多个第二图像之间的颜色距离的步骤；从所述多个块中选择一个或一个以上颜色距离相对大的块的步骤；以及将选择出的块设定为所述区域条件的步骤。