[发明专利]橡胶组合物、等离子体处理装置用密封材料

摘要

提供一种橡胶组合物，其中含有(a)交联性含氟橡胶；以及，相对于所述交联性含氟橡胶100重量份，合计量为1～10重量份的(b)反应性含氟化合物(除交联性含氟橡胶(a)之外)，它具有2价全氟聚醚结构或2价全氟亚烷基结构，在末端或侧链具有2个以上至少可与有机硅化合物(c)中的硅氢基发生加成反应的链烯基，和，(c)反应性有机硅化合物，它在分子中具有2个以上的硅氢基，至少可与所述反应性含氟化合物(b)中的链烯基发生加成反应；还含有(d)硫化剂(d－1)和根据需要的共交联剂(d－2)。还提供了通过将该组合物一次硫化之后，再将成形体中的未反应成分在真空炉中二次硫化，从而形成的作为未反应成分的释放气体量减少的等离子体处理装置用密封材料。所述等离子体处理装置用密封材料特别在半导体制造工序中即使高温下长时间使用也不易与配合部件粘着·固接、没有产生碎粒的问题、没有释放气体引起的污染，并可以低成本制得。

主权项

1.橡胶组合物，其特征在于，含有：(a)交联性含氟橡胶；(b)除交联性含氟橡胶(a)之外的反应性含氟化合物，它具有2价全氟聚醚结构或2价全氟亚烷基结构，在末端或侧链具有2个以上至少可与有机硅化合物(c)中的硅氢基发生加成反应的链烯基；(c)反应性有机硅化合物，它在分子中具有2个以上的硅氢基，至少可与所述反应性含氟化合物(b)中的链烯基发生加成反应；以及还含有(d)硫化剂(d-1)和根据需要使用的共交联剂(d-2)；其中，相对于所述交联性含氟橡胶100重量份，[(b)+(c)]的总量为1～10重量份。