[发明专利]用于制造金属玻璃膜的溅射靶及其制造方法无效
| 申请号： | 200580039078.3 | 申请日： | 2005-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN101061252A | 公开（公告）日： | 2007-10-24 |
| 发明（设计）人： | 中村笃志;矢作政隆;井上明久;木村久道;山浦真一 | 申请（专利权）人： | 日矿金属株式会社;东北大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F9/08;C22C5/04;C22C9/00;C22C16/00;C22C19/03;C22C19/07;C22C38/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 樊卫民;郭国清 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制造金属玻璃膜的溅射靶，其特征在于，具有以选自Pd、Zr、Fe、Co、Cu、Ni中的至少一种以上的金属元素为主要成分(以原子％最多的成分)的3元系以上的组成，具有通过烧结平均粒径为50μm以下的喷雾粉得到的组织。本发明的课题在于，得到用于制造金属玻璃膜的溅射靶及其制造方法，能代替通过成本高的以往的熔融金属的淬火得到的块状金属玻璃，没有所制造的金属玻璃膜的缺陷和组成不均匀的问题，组织均匀，并且能以高效、低成本制造，而且结核和颗粒的发生少。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 金属 玻璃 溅射 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于制造金属玻璃膜的溅射靶，其特征在于，具有以选自Pd、Zr、Fe、Co、Cu、Ni中的至少一种以上的金属元素为主要成分的3元系以上的组成，具有通过烧结平均粒径为50μm以下的喷雾粉得到的组织，其中，所述主要成分为以原子％最多的成分。
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