[发明专利]减少MEMS器件中的空气阻尼有效
| 申请号： | 200580036791.2 | 申请日： | 2005-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN101049045A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | 彼得·G·斯蒂尼肯;约瑟夫·托马斯·马蒂纳斯·范贝克;特奥·里克斯 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H01H59/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈瑞丰 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种微机电器件，含有基板(10)、可移动装置，可移动装置能够在电极静电力的作用下向基板移动，可移动装置和基板的相对表面的形状使得当其在闭合位置时，通过相对的表面限定一个或多个排气通道(VC)，配置使得相对表面之间的流体可以流过相对的表面，从而进入或离开位于相对表面之间的区域。该通道可以使可移动装置的移动流体阻尼受控。增加进入或离开相对表面之间区域的流量，可以减少该阻尼，并且因此增加了器件打开和闭合的速度。该通道可以与电极的孔相连。 | ||
| 搜索关键词： | 减少 mems 器件 中的 空气 阻尼 | ||
【主权项】：
1.一种微机电器件，含有基板(10)、可相对于基板移动的可移动装置(e2)，可移动装置和基板的相对表面的形状使得当它们在闭合位置时，通过相对的表面限定一个或多个排气通道(VC)，其被配置为使得相对表面之间的流体可以流过相对的表面，从而进入或离开位于相对表面之间的区域。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于皇家飞利浦电子股份有限公司，未经皇家飞利浦电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200580036791.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
