[发明专利]制备含有分子氟的气体或气体混合物的方法无效
| 申请号： | 200580022253.8 | 申请日： | 2005-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN1980859A | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | J－M·吉拉尔;H·E·迪尔菲;J－C·罗斯坦;P·穆瓦内 | 申请（专利权）人： | 液体空气乔治洛德方法利用和研究的具有监督和管理委员会的有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/02 | 分类号： | C01B21/02;B01J19/08;B01J19/12 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 林柏楠;刘金辉 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及由衍生自氟的气体或气体混合物制备含有分子氟的气体或气体混合物的方法和装置，其中氟化气体或气体混合物、特别是三氟化氮NF3通过在氟化气体分子的等离子体中裂化而分解，由此制得由所述裂化而获得的原子氟与其它物质的混合物，随后将所述混合物以快速方式(24)、如果必要在低于500℃的温度下冷却，由此对于至少50％这样形成的原子氟形成分子氟，使氟原子与由所述裂化产生的其它产物的再次结合最小化，并且重新组成氟化气体或气体混合物，其中回收含有F2的气态混合物。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 含有 分子 气体 混合物 方法 | ||
【主权项】：
1、由衍生自氟的气体或气体混合物制备含分子氟的气体或气体混合物的方法，其特征在于，使含氟的气体或气体混合物、特别是三氟化氮NF3通过热的高电子密度等离子体而分解，等离子体在大气压或接近大气压下生成，由此获得高于2000K的等离子体中重质物质的最高温度Tmax，随后将等离子中存在的各种物质的混合物冷却到温度Th，随后在Th和Tb 之间快速冷却，Th和Tb为依据含氟的气体或气体混合物由实验测定的两个温度，Th为最初注入等离子体中的气体或气体混合物的分子可以由它们的分裂片段开始重新组成的温度，Tb为等离子体中超过90％的由分裂而生成的氟原子已再次结合的温度，由此获得含有分子氟F2的气体混合物。
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