[发明专利]移动体位置控制装置以及使用了该控制装置的载物台装置

摘要

当被输入由上述Y1线性编码器(52)、Y2线性编码器(54)和X线性编码器(58)检测到的Y1、Y2、和X方向的位置信号时，载物台装置(10)进行X、Y、θ坐标变换，计算出移动体重心位置，由推力退耦块(70)根据移动体重心位置进行推力退耦，使Y1、Y2线性电动机(36、38)的推力(f₁、f₂)互不干涉。推力退耦块(70)通过第1至第3分配计算部(84、86、88)设定使作用方向互相相反的2个旋转力平衡的推力(f₁、f₂)的分配比，使Y载物台(18)不受绕重心轴的旋转力地平移驱动Y载物台(18)。

主权项

1.一种移动体位置控制装置，控制用于驱动被设置为可沿互相垂直的2个方向中的第1轴方向移动的第1移动体的两端的第1、第2驱动单元、以及用于驱动沿与上述第1轴垂直的第2轴方向移动的第2移动体的第3驱动单元，使上述第1移动体和上述第2移动体构成的移动体组件移动，其特征在于，上述移动体位置控制装置具备：重心位置计算单元，计算与上述第2移动体的移动位置相对应的上述移动体组件的重心位置；分配系数计算单元，计算分配系数，该分配系数用于根据上述重心位置计算单元计算出的重心位置来设定上述第1驱动单元的推力与上述第2驱动单元的推力的分配比；指令值计算单元，将该分配系数计算单元计算出的分配系数与上述第1轴方向的位置控制补偿器所计算出的第1轴推力目标值相乘，计算给上述第1、第2驱动单元的第1轴推力指令值，使得作用于上述重心的轴周围的对第1、第2驱动单元的推力所产生的旋转方向的力矩平衡；惯性力矩计算单元，计算以根据上述第2移动体的移动位置而变化的移动体组件的重心位置为轴的、旋转方向的惯性力矩；旋转方向推力计算单元，计算上述重心的轴周围的第3轴推力指令值，使利用该惯性力矩计算单元计算出的惯性力矩与旋转方向的位置控制补偿器的推力的增益之比为一定；驱动推力指令值计算单元，根据上述第1轴推力指令值和上述第3轴推力指令值，计算给上述第1、第2驱动单元的各推力指令值。