[发明专利]利用可运动的平坦的中间电极进行雾化的装置和方法有效
| 申请号： | 200580018760.4 | 申请日： | 2005-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN1977353A | 公开（公告）日： | 2007-06-06 |
| 发明（设计）人： | U·威尔康门;R·侯斯沃德;W·富卡雷克 | 申请（专利权）人： | 莱博德光学有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曹若;赵辛 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 在用于在一个真空室中借助于一种可运动的中间电极机构(1)将材料进行雾化的装置，该中间电极机构包括至少一个可以在一个平面中进行运动的平坦的、可切换为阴极的中间电极(2)，该装置具有一个静止的中间电极环境(16)、一个配设于该中间电极机构的驱动机构(8、9)、一个具有至少一个配设于该中间电极(2)的阳极(6a、6b)的阳极机构(6)和一个静止的用于产生磁场以辅助材料从中间电极(2)的雾化表面上剥蚀的磁体机构(3)，其中设置至少一个非旋转对称的、优选由矩形中间电极板构成的中间电极(2)，其借助于中间电极机构(1)可以在一个平面中运动。本发明还包括一种用于材料雾化的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 运动 平坦 中间 电极 进行 雾化 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.用于在一个真空室中借助于一种可运动的中间电极机构将材料进行雾化的装置，该中间电极机构包括至少一个可以在一个平面中进行运动的平坦的、可切换为阴极的中间电极，该装置具有一个静止的中间电极环境、一个配设于该中间电极机构的驱动机构、一个具有至少一个配设于该中间电极的阳极的阳极机构和一个静止的用于产生磁场以辅助材料从中间电极的雾化表面上剥蚀的磁体机构，其特征在于：设置至少一个非旋转对称的、优选由矩形中间电极板构成的中间电极，其借助于中间电极机构可以在一个平面中运动。
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