[发明专利]图案化导电材料的测微直写方法及其在修复平板显示器的应用

摘要

一种使用微米和亚微米器件直写导电金属轨迹的新的低温方法。在此方法中，使用了平梁，例如有或没有针尖的AFM悬臂，在衬底上画出金属前驱物墨水的轨迹。金属轨迹的大小可直接通过悬臂的几何形状控制，因此可用微制造悬臂可控制地沉积宽1微米至100微米以上的轨迹。可使用有尖锐针尖的悬臂将器件的最小尺寸进一步收缩至亚微米级。可通过增加相似或不同的层而增加器件的高度。为了用此沉积方法得到高导电性和牢固的图案，设计了两种一般化的墨水成分策略。两种墨水系统的关键成分是直径小于100nm的纳米颗粒。由于一般纳米颗粒与块体材料相比，熔点显著降低，可将离散的颗粒群组在很低的温度下(小于约300℃，以及低至约120℃)熔融、烧结或聚并形成连续的(多)晶膜。在第一种策略中，可将烃包裹的纳米颗粒分散在合适的溶剂中，将它们沉积在表面上形成图案，然后将膜加热退火形成连续的金属图案。在第二种策略中，可在存在还原基质的情况下将金属化合物传送到表面上，然后通过加热，在原位置上形成纳米颗粒，然后聚并形成连续金属图案。在铂和金墨水的研究中，两种基于纳米颗粒的方法在玻璃和氧化硅上产生了电阻系数低(4微欧·厘米)、粘附性质出色的微米级轨迹。

主权项

1.一种方法，包括：提供具有悬臂端的悬臂，其中，该悬臂是无针尖悬臂；提供设置在该悬臂端的墨水；提供衬底表面；移动该悬臂端或移动该衬底表面，使得墨水由该悬臂端传送到该衬底表面。