[发明专利]用于半导体制造设备的服务活动管理系统和方法

摘要

描述了一种用于半导体制造中的服务过程的活动管理系统及其使用方法。该活动管理系统包括数据采集系统，其被配置为接收与至少一个服务部件和服务操作者相关联的服务活动数据，并将服务活动数据与至少一个服务账目相关。另外，该活动管理系统包括耦合到数据采集系统并被配置为存储服务活动数据的数据存储系统。此外，活动管理系统包括耦合到数据采集系统和数据存储系统的服务动作系统，其被配置为执行至少一种服务功能，这些服务功能包括服务部件修理、服务部件启动、服务部件预防性维护、服务部件清洗、服务部件修正(例如，现场变化通知)、服务部件增强(例如，连续改进通知)、服务部件卸载、客户动作计划、项目动作计划和服务教学。

主权项

1.一种用于管理与半导体制造有关的服务活动的活动管理系统，包括：被配置为接收与服务部件、服务操作者和服务账目中的至少一个有关的服务活动数据的数据采集系统；耦合到所述数据采集系统并被配置为存储所述服务活动数据的数据存储系统；以及耦合到所述数据采集系统和所述数据存储系统的服务动作系统，所述服务动作系统被配置为通过执行多种服务功能中的至少两种而利用所述服务活动数据提供服务动作数据，所述多种服务功能包括提供服务部件修理、提供服务部件启动、提供服务部件预防性维护、提供服务部件清洗、提供服务部件修正、提供服务部件增强、提供服务部件卸载、提供服务教学以及提供服务协作。