[发明专利]衬底处理设备和方法无效
| 申请号： | 200580005796.9 | 申请日： | 2005-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN1921955A | 公开（公告）日： | 2007-02-28 |
| 发明（设计）人： | 梶田真二;片伯部一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B05C11/08 | 分类号： | B05C11/08;C23F1/00;C23F1/08;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/68 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 钟胜光 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 衬底处理设备具有用于在固定力下固定衬底(W)的衬底固定机构(14)，所述固定力根据衬底固定机构(14)的旋转速度而改变；衬底旋转机构(22)，用于旋转衬底固定机构(14)以旋转由衬底固定机构(14)固定的衬底(W)；和处理液输送机构(12、15、19)，用于将处理液输送给由衬底固定机构(14)固定的衬底(W)的期望部分。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 处理 设备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种衬底处理设备，包括：衬底固定机构，用于在固定力下固定衬底，所述固定力根据所述衬底固定机构的旋转速度而改变；衬底旋转机构，用于旋转所述衬底固定机构以旋转由所述衬底固定机构固定的所述衬底；和处理液输送机构，用于将处理液输送给由所述衬底固定机构固定的所述衬底的期望部分。
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