[发明专利]具有静电放电保护器件的集成电路芯片

摘要

本发明涉及集成电路芯片，依次包括衬底材料的衬底层、绝缘材料的绝缘层、第一导电材料的第一导电层、介电材料的介电层，第二导电材料的第二导电层，所述集成电路芯片包括至少一个集成电路和至少一个集成的静电放电保护器件，所述静电放电保护器件包括一对隔开的中心和圆周电极，中心电极由第一导电层形成，圆周电极由第二导电层形成，所述电极由胆甾火花隙空腔分开，其中胆甾火花隙空腔的环形面包括由集成电路芯片的绝缘层形成的基层，由圆周电极形成的侧壁，由集成电路芯片的介电层形成的覆盖层，环中心由包括与绝缘层接触的接触焊盘的中心电极形成，所述静电放电保护器件也包括电连接中心电极到输入电路路径以免受静电放电的装置，和电连接圆周电极到包括与电路接地或电路电源电压的连接的静电放电通道的装置。本发明也涉及一种制造这样的集成电路芯片的方法。

主权项

1、一种集成电路芯片，依次包括衬底材料的衬底层、绝缘材料的绝缘层、第一导电材料的第一导电层、介电材料的介电层和第二导电材料的第二导电层，所述IC芯片包括至少一个集成电路和至少一个集成的静电放电保护器件，所述静电放电保护器件包括一对隔开的中心和圆周电极，该中心电极由第一导电层形成，该圆周电极由第二导电层形成，所述电极由胆甾火花隙空腔隔开，其中胆甾火花隙空腔的环包括由集成电路芯片的绝缘层形成的基层，由圆周电极形成的侧壁，由集成电路芯片的介电层形成的覆盖层，环中心由包括与绝缘层接触的接触焊盘的中心电极形成，所述静电放电保护器件也包括电连接中心电极到输入电路路径以保护免受静电放电的装置，和电连接圆周电极到包括与电路接地或电路电源电压的连接的静电放电路径的装置。