[实用新型]离子注入机剂量控制器无效
| 申请号： | 200520142507.7 | 申请日： | 2005-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN2847523Y | 公开（公告）日： | 2006-12-13 |
| 发明（设计）人： | 唐景庭;伍三忠;郭健辉;彭立波;王迪平;孙勇;许波涛;易文杰;姚志丹;孙雪平;谢均宇 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/265 | 分类号： | H01L21/265;H01J37/30;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子注入机剂量控制器包括：数字I/O板、电源控制板、剂量积分板、均匀性控制器、多路法拉第放大板和移动法拉第杯，其中移动法拉第杯与多路法拉第放大板连接，多路法拉第放大板与电源控制板和剂量积分板同时连接，电源控制板与剂量积分板连接，剂量积分板与数字I/O板和均匀性控制器连接。由于使用了移动法拉第杯，可以测量注入束流的均匀性，又可在注入时实时监控注入束流，通过剂量积分器的转换，实时将剂量传送给均匀性控制器，快速计算出每次慢速扫描完成后垂直方向的剂量均匀性，反馈回来以便下次扫描进行剂量修正，从而保证注入剂量的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 剂量 控制器 | ||
【主权项】：
1、一种离子注入机剂量控制器包括：数字I/O板、电源控制板、剂量积分板、均匀性控制器、多路法拉第放大板和移动法拉第杯，其特征在于所述的移动法拉第杯与多路法拉第放大板连接，多路法拉第放大板与电源控制板和剂量积分板同时连接，电源控制板与剂量积分板连接，剂量积分板与数字I/O板和均匀性控制器连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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