[实用新型]半导体元件清洗机无效
| 申请号： | 200520131052.9 | 申请日： | 2005-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN2889529Y | 公开（公告）日： | 2007-04-18 |
| 发明（设计）人： | 吴永清 | 申请（专利权）人： | 吴永清 |
| 主分类号： | B08B11/00 | 分类号： | B08B11/00;B08B3/12;B08B3/10;F26B3/02 |
| 代理公司： | 天津三元专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 郑永康 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种半导体元件清洗机，是在一机台设置有：一清洗槽，槽内底缘设置一蓄液环，蓄液环内部连接有通至浸泡液供给槽的注液管，与通至浸泡液回收槽内排液管，蓄液环外部连接有通至浸泡液回收槽的外排液管，槽身外部设有超音波震动器；一转盘，设置于该清洗槽的蓄液环内部，而由一设于清洗槽外部的动力源予以驱动；一清洗旋臂，相对该转盘设置于该清洗槽内部，而布设有比该转盘半径长的喷嘴列，该喷嘴列连接有喷流液供给管及干燥气供给管。本实用新型具有清洗无死角的功效。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 元件 清洗 | ||
【主权项】：
1、一种半导体元件清洗机，其特征在于，是在一机台设置有：一清洗槽，槽内底缘设置一蓄液环，蓄液环内部连接有通至浸泡液供给槽的注液管，与通至浸泡液回收槽内排液管，蓄液环外部连接有通至浸泡液回收槽的外排液管，槽身外部设有超音波震动器；一转盘，设置于该清洗槽的蓄液环内部，而由一设于清洗槽外部的动力源予以驱动；一清洗旋臂，相对该转盘设置于该清洗槽内部，而布设有比该转盘半径长的喷嘴列，该喷嘴列连接有喷流液供给管及干燥气供给管。
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