[实用新型]快速升降温加热器无效
| 申请号： | 200520090384.7 | 申请日： | 2005-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN2818496Y | 公开（公告）日： | 2006-09-20 |
| 发明（设计）人： | 梁玉生;钱进;王文君;吴向方 | 申请（专利权）人： | 辽宁聚智科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/46 | 分类号： | C23C16/46;C30B25/10 |
| 代理公司： | 辽宁沈阳国兴专利代理有限公司 | 代理人： | 张立新 |
| 地址： | 110004辽宁省沈阳市和平区*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种快速升降温加热器，它由炉丝、支架、绝缘板、支撑杆、电极板、绝缘固定套、炉丝电极、隔热板和引出电极构成；炉丝通过支架安装在绝缘板上；电极板固定设置在绝缘板下方；炉丝通过炉丝电极与电极板连接；电极板下方设置若干隔热板；电极板上设有引出电极。本实用新型热容量小、升降温速度快、体积小功率大、加热均匀，非常适用于半导体领域的薄膜材料生产设备中，对衬底进行加热。 | ||
| 搜索关键词： | 快速 升降 加热器 | ||
【主权项】：
1、一种快速升降温加热器，其特征的于：由炉丝、支架、绝缘板、支撑杆、电极板、绝缘固定套、炉丝电极、隔热板和引出电极构成；炉丝通过支架安装在绝缘板上；电极板固定设置在绝缘板下方；炉丝通过炉丝电极与电极板连接；电极板下方设置若干隔热板；电极板上设有引出电极。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
