[发明专利]挥发性的金属β－酮亚胺盐和金属β－二亚胺盐的配合物

摘要

本发明提供了一种金属酮亚胺盐或二亚胺盐配合物以及其制备和使用方法，其中所述配合物含有铜、银、金、钴、钌、铑、铂、钯、镍、锇或铟。在有些实施方案中，所述金属配合物可用作前体来通过例如原子层沉积或化学气相沉积条件在基体上沉积金属和含金属的膜。

主权项

1、通式(I)表示的金属配合物，其中M是选自Cu、Au、Ag、Co、Ru、Rh、Pt、In、Pd、Ni和Os的金属；其中X选自氧和NR⁵；其中，R¹、R²、R³和R⁵每个独立选自氢原子；卤素原子；通式为NO₂的硝基；通式为C_nH_2n+1的烷基，其中n是1-20的数字；通式为C_nH_xF_y的氟烷基，其中(x+y)的和等于(2n+1)的和，而且n是1-20的数字；通式为(R⁶)₃Si的烷基硅烷，其中R⁶每个独立地是含有1-20个碳原子的烷基、烷氧基或者酰胺；含有6-12个碳原子的芳基；含有6-12个碳原子的烷基取代的芳基；含有6-12个碳原子的氟烷基取代的芳基；含有6-12个碳原子的氟芳基；通式为(CH₂)_nO(C_mH_2m+1)的醚，其中n和m独立地是1-20的数字；通式为(C_nH_xF_y)O(C_mH_wF_z)的氟醚，其中(x+y)＝2n，(w+z)＝(2m+1)，n和m每个独立地是1-20的数字；通式为(R⁷)₃SiO的甲硅烷基醚，其中R⁷每个独立地是含有1-20个碳原子的烷基或者含有6-12个碳原子的芳基；含有1-20个碳原子的烷氧基；和含有1-20个碳原子的酰胺；其中R⁴选自通式为C_nH_2n+1的烷基，其中n是1-20的数字；通式为C_nH_xF_y的氟烷基，其中(x+y)的和等于(2n+1)的和，而且n是1-20的数字；通式为(R⁶)₃Si的烷基硅烷，其中R⁶每个独立地是含有1-20个碳原子的烷基、烷氧基或者酰胺；含有6-12个碳原子的芳基；含有6-12个碳原子的烷基取代的芳基；含有6-12个碳原子的氟烷基取代的芳基；含有6-12个碳原子的氟芳基；通式为(CH₂)_nO(C_mH_2m+1)的醚，其中n和m独立地是1-20的数字；通式为(C_nH_xF_y)O(C_mH_wF_z)的氟醚，其中(x+y)＝2n，(w+z)＝(2m+1)，n和m每个独立地是1-20的数字；通式为(R⁷)₃SiO的甲硅烷基醚，其中R⁷每个独立地是含有1-20个碳原子的烷基或者含有6-12个碳原子的芳基；含有1-20个碳原子的烷氧基；和含有1-20个碳原子的酰胺，而且其中R⁴通过去除氢、原子或基团而与L连接；其中L是选自下列的配体：含有2-20个碳原子的烷基腈；通式为(R⁸)₃SiCN的甲硅烷基腈，其中R⁸每个独立地是含有1-20个碳原子的烷基、烷氧基或酰胺；含有1-20个碳原子的炔；通式为(R⁹)₃SiCCR¹⁰的甲硅烷基炔，其中R⁹每个独立地是含有1-20个碳原子的烷基、酰胺或烷氧基，R¹⁰是氢、含有1-20个碳原子的烷氧基、酰胺或烷基；通式为(R¹¹)₃SiCCSi(R¹¹)₃的甲硅烷基炔，其中R¹¹每个独立地是含有1-20个碳原子的烷基、酰胺或烷氧基；含有1-20个碳原子的烯烃、二烯或三烯；通式为(R¹²)₃SiCR¹³C(R¹³)₂的甲硅烷基烯烃，其中R¹²每个独立地是含有1-20个碳原子的烷基、烷氧基、芳基、乙烯基或者酰胺，R¹³每个独立地是氢、含有1-20个碳原子的烷基，或者含有6-12个碳原子的芳基；通式为(R¹⁴)₃SiCR¹³CR¹³Si(R¹⁴)₃的双(甲硅烷基)烯烃，其中R¹⁴每个独立地是含有1-20个碳原子的烷基、烷氧基或酰胺，R¹³每个独立地是氢原子或者含有1-20个碳原子的烷基；含有3-20个碳原子的丙二烯；通式为(R¹⁵)₂CCC(R¹⁵)₂的丙二烯，其中R¹⁵每个独立地是氢原子或者通式为(R¹⁶)₃Si的烷基硅烷，其中R¹⁶每个独立地是含有1-20个碳原子的烷基、酰胺或烷氧基；通式为R¹⁷NC的烷基胩，其中R¹⁷是含有1-20个碳原子的烷基；通式为(R¹⁸)₃SiNC的甲硅烷基胩，其中R¹⁸每个独立地是含有1-20个碳原子的烷基，和含有6-12个碳原子的芳基，而且其中L通过去除氢、原子或基团而与R⁴相连；和其中位于M和L之间的有机金属键选自两个单键或一个单键。