[发明专利]一种互套双仓真空镀膜系统及其应用方法

摘要

本发明公开了一种真空镀膜系统，其空间布局采用互套双仓结构，其中一个镀膜仓和一个过渡仓，通过设置在两仓隔壁上的高真空阀锁，开启闸门两仓连通，可以在真空条件下在该两仓之间进行工件换位；关闭闸门两仓隔离，此时过渡仓充气不影响镀膜仓的正常工作。这种互套双仓真空镀膜系统具有结构简单、强度高、成本低和占用空间小等明显优势。同时本发明还公开了一种采用上述装置进行节拍式连续镀膜的方法，通过上述装置实现大批量镀膜生产，可以提高生产效率，降低成本。

主权项

1、一种真空镀膜系统，其特征在于：(1)镀膜系统的空间布局为双仓互套结构，一仓为镀膜仓，另一仓为过渡仓；在该两仓隔壁上设置有真空阀锁，开启该阀锁实现镀膜仓和过渡仓的连通，使工件在真空条件下进行在该两仓之间的换位，关闭该阀锁两仓隔离，此时过渡仓的充气不影响镀膜仓的工作；(2)所述镀膜仓设有真空排气装置及镀膜装置；(3)在所述过渡仓内设置至少两个工件架的工位，并连接一真空排气装置；(4)在所述真空镀膜系统中包括工件架系统，所述工件架系统设有传动装置，可以方便地进行运动和一维弯曲，并且在所述工件架上可固定一定柔性的板状工件，或者装卡刚性散装工件进行运动和镀膜，工件架上的转杆和刚性散装工件在运动的同时可选择进行二维转动。