[发明专利]一种三台阶分束光栅及制作方法无效
| 申请号： | 200510130742.7 | 申请日： | 2005-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN1786751A | 公开（公告）日： | 2006-06-14 |
| 发明（设计）人： | 王长涛;杜春雷 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 刘秀娟;成金玉 |
| 地址： | 610209*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种三台阶分束光栅，用于将一束激光分为多个均匀光束，其特征在于：其结构以2个周期T为结构变化周期(即每个2周期T的结构都一样)，其中第1个周期T的结构为二元位相分束光栅一个周期T的沟槽结构，第2个周期T的结构高度提高h，并且第2个周期T的沟槽结构是与第1个周期T结构相反的二元位相分束光栅沟槽结构，本发明由于相邻周期的相反结构，其输出均匀性误差近似相互抵消，均匀性受横向加工误差的影响小，因此同样加工误差下能够制作更大分束比的光栅。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 台阶 光栅 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种三台阶分束光栅，其特征在于：其结构以2个周期T为结构变化周期，即每个2周期T的结构都一样，其中第1个周期T的结构为二元位相分束光栅一个周期T的沟槽结构，第2个周期T的结构高度提高h，并且第2个周期T的沟槽结构是与第1个周期T结构相反的二元位相分束光栅沟槽结构，其中h＝λ/2(n-1)，λ为激光波长，n为材料折射率。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院光电技术研究所，未经中国科学院光电技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510130742.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
