[发明专利]光刻胶组合物有效
| 申请号： | 200510128708.6 | 申请日： | 2005-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN1821869A | 公开（公告）日： | 2006-08-23 |
| 发明（设计）人： | J·F·卡梅伦;D·W·李;P·特雷夫纳斯;G·J·斯万森;J.W.宋 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陈文青 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了化学增幅的正光刻胶组合物，它包含含有缩醛和脂环族基团的树脂。本发明的光刻胶具有明显提高的光刻性能。本发明优选的光刻胶包含一种或多种光致酸形成剂化合物，且一种或多种酚醛树脂包含一个或多个光致酸不稳定的缩醛基团和一个或多个脂环族基团，如金刚烷基。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 组合 | ||
【主权项】：
1.一种光刻胶组合物，它包含：i)包含一个或多个取代基的一种或多种树脂，所述取代基包括一个或多个光致酸不稳定的缩醛基团以及一个或多个脂环族基团；ii)一种或多种光致酸形成剂化合物。
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