[发明专利]发光二极管的晶圆级测试方法及构造有效
| 申请号: | 200510114523.X | 申请日: | 2005-10-24 |
| 公开(公告)号: | CN1956159A | 公开(公告)日: | 2007-05-02 |
| 发明(设计)人: | 刘安鸿;王永和;赵永清;李耀荣 | 申请(专利权)人: | 南茂科技股份有限公司;百慕达南茂科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L33/00 |
| 代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
| 地址: | 中国*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | 本发明是有关于一种发光二极管的晶圆级测试方法及构造。该发光二极管的晶圆级测试方法,首先提供有一LED半导体晶圆,将一胶带贴附在该LED半导体晶圆的背面,再切割该LED半导体晶圆成为复数个在该胶带上的LED芯片,在测试该些LED芯片时,以一探测卡的复数个探触结构欧姆接触该些LED芯片的P型电极与N型电极,每一探触结构包括有一光侦测器,其是对应于该些LED芯片上方,用以侦测该些LED芯片发生的光源。本发明可以达到大量与快速地晶圆级测试复数个发光二极管,其还可以达到大量与快速地测试LED覆晶芯片的功效,非常适于实用。 | ||
| 搜索关键词: | 发光二极管 晶圆级 测试 方法 构造 | ||
【主权项】:
1、一种发光二极管(LED)的晶圆级测试方法,其特征在于其包括以下步骤:提供一LED半导体晶圆,该LED半导体晶圆具有一正面及一背面,该正面设有复数个P型电极及复数个N型电极;贴附一胶带于该LED半导体晶圆的背面;切割该LED半导体晶圆而形成复数个在该胶带上的LED芯片;以及以一探测卡测试该些LED芯片,该探测卡包括有复数个探触结构,每一探触结构具有复数个探触端及一光侦测器,该些探触端是欧姆接触该些LED芯片的该些P型电极与该些N型电极,而该些光侦测器是设于对应探触结构的探触端之间,当一电压藉由该些探触结构施加予该些LED芯片,该些光侦测器是侦测该些LED芯片发生的光源。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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