[发明专利]扫描电子显微镜有效
| 申请号： | 200510103948.0 | 申请日： | 2005-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN1822305A | 公开（公告）日： | 2006-08-23 |
| 发明（设计）人： | 波田野道夫;伊东祐博;富田真一;片根纯一 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立科学系统 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/244;G01N23/225;G01N13/10 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 吴丽丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种扫描电子显微镜，具有将电子束照射到试样上的照射光学系统，在试样室内放置试样的试样台，在试样台的周围被配置至少一个的电场供给电极，被配置成覆盖电场供给电极那样的离子电流检测电极。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 电子显微镜 | ||
【主权项】：
1.一种具有将电子束照射到试样上的照射光学系统，和在试样室内放置试样的试样台的气体倍增式离子电流检测型扫描电子显微镜，其特征在于具有：在上述试样台的周围被配置至少一个的电场供给电极，和离子电流检测电极，上述电场供给电极被配置成被上述离子电流检测电极覆盖。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社日立科学系统，未经株式会社日立科学系统许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510103948.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
