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[发明专利]带电粒子线装置-CN201510171197.X在审
发明人：大南祐介;伊东祐博;胜山正己 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2011-11-02 - 公布日： 2015-08-19 - 主分类号： H01J37/18 文献下载
摘要：提供一种带电粒子线装置、带电粒子显微镜，即便是大型的试料也可以在大气环境或者气体环境下进行观察。在采用分隔真空环境与大气环境(或气体环境)的薄膜的构成的带电粒子线装置中，具备：收纳带电粒子光学系统的带电粒子光学镜筒；将从该带电粒子光学镜筒射出的一次带电粒子线到达所述薄膜的路径维持为真空环境的箱体；相对于装置设置面支承上述带电粒子光学镜筒与第1箱体的机构，作为该支承机构，采用具有用于搬入大型试料的开放口的箱体、或者支柱等箱体以外的形状的机构。
带电粒子线装

[发明专利]带电粒子束装置-CN201380020619.2有效
发明人：大南祐介;河西晋佐;大泷智久;安岛雅彦;伊东祐博 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2013-04-11 - 公布日： 2014-12-24 - 主分类号： H01J37/18 文献下载
摘要：带电粒子束装置(1)具备带电粒子光学镜筒(10)、搭载带电粒子光学镜筒(10)的支承壳体(20)、以及插入到支承壳体(20)的内部的内插壳体(30)，第一光圈构件(15)配设在物镜的磁场的中心附近，第二光圈构件(31)配设为从外侧封堵设置于内插壳体(30)的上表面的开口部。并且，利用检测器(16)检测在一次带电粒子束(12)向配置于第二光圈构件(31)的下表面侧的试料(60)照射时放出的二次带电粒子。
带电粒子束装置

[发明专利]带电粒子线装置-CN201380008021.1有效
发明人：大南祐介;大岛卓;伊藤博之;佐藤贡;伊东祐博 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2013-02-15 - 公布日： 2014-10-08 - 主分类号： H01J37/18 文献下载
摘要：本发明提供能简单地装拆隔膜(101)且能将试样(6)配置于真空下和高压下的带电粒子线装置(111)。该带电粒子线装置(111)具有：对带电粒子源(110)和电子光学系统(1、2、7)进行保持的镜筒(3)；与镜筒(3)连结的第一框体(4)；向第一框体(4)的内侧凹陷的第二框体(100)；将镜筒(3)内的空间和第一框体(4)内的空间隔离且供带电粒子线透过的第一隔膜(10)；将第二框体(100)的凹部(100a)内的空间和第二框体(100)的凹部(100a)外的空间隔离且供带电粒子线透过的第二隔膜(101)；与收纳带电粒子源(110)的第三框体(22)连结的管(23)，第一隔膜(10)安装于管(23)，管(23)和第三框体(22)能沿光轴(30)的方向相对于镜筒(3)装拆。由第一框体(4)和第二框体(100)包围的空间(105)被减压，对配置于凹部(100a)中的试样(6)照射带电粒子线。
带电粒子线装

[发明专利]带电粒子线装置以及倾斜观察图像显示方法-CN201280065865.5有效
发明人：小竹航;川俣茂;伊东祐博 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2012-12-20 - 公布日： 2014-09-10 - 主分类号： H01J37/147 文献下载
摘要：本发明提供一种带电粒子线装置以及倾斜观察图像显示方法。本发明的带电粒子线装置(100)的控制装置(50)，在每次使一次电子线(4)对样品(15)的表面进行1行份的扫描线的扫描时，经由倾斜线圈(11、12)使一次带子线(4)的照射轴左倾斜、无倾斜、或者右倾斜。并且，在变更了该照射轴时，经由焦点调整线圈(14)按照照射轴的倾斜状态来调整一次电子线(4)的焦点位置，获取1行份的扫描线的样品(15)的表面的左倾斜观察图像、无倾斜观察图像、或者右倾斜观察图像，将到此时为止获取到的与扫描线相关的左倾斜观察图像、无倾斜观察图像、和右倾斜观察图像同时显示在相同的显示装置(31)中。由此，能够大致同时获取并大致同时显示对焦了的无倾斜观察图像和对焦了的倾斜观察图像。
带电粒子线装以及倾斜观察图像显示方法

[发明专利]带电粒子线装置-CN201280057813.3有效
发明人：海老根裕太;富田真一;伊东祐博;青岛利裕 -专利权人：株式会社日立高新技术;东陶机器株式会社
申请日： 2012-11-12 - 公布日： 2014-08-20 - 主分类号： H01J37/252 文献下载
摘要：为了提供能在进行X射线元素分析的预备阶段评价、判别适于X射线分析的样本上的位置、分析者能无返工、短时间地进行确保了高可靠性的分析的带电粒子线装置，在具备X射线检测器的带电粒子线装置中，在与X射线检测器(12(25～30))的X射线检测面同轴上，与X射线检测器(12)一体或独立地配置第1反射电子检测器(15)，同时或个别地由X射线检测器(12)检测X射线信号，由第1反射电子检测器(15)检测反射电子信号。
带电粒子线装

[发明专利]检查或观察装置及试样的检查或观察方法-CN201280048835.3有效
发明人：大南祐介;许斐麻美;伊东祐博;大泷智久;河西晋佐 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2012-09-03 - 公布日： 2014-06-11 - 主分类号： H01J37/18 文献下载
摘要：本发明提供能使用便利性良好地利用带电粒子技术及光学技术可靠地对试样进行检查或观察的检查装置、观察装置。检查或观察装置具备：第一框体(7)，其形成第一空间(11)的至少一部分，该第一空间(11)构成从带电粒子照射部放出的一次带电粒子线到达试样期间的至少一部分的区域且能维持成真空状态；第二框体(121)，其设于该第一框体(7)，形成能收纳所述试样的第二空间(12)的至少一部分；隔壁部(10)，其配置于从所述带电粒子照射部照射出的一次带电粒子线向试样上照射时的所述带电粒子照射部的同轴上，将所述第一空间与所述第二空间隔开；光学式观察部，其对所述试样照射光，从与所述带电粒子照射部相同的方向检测来自所述试样的光。
检查观察装置试样方法

[发明专利]场致发射型电子源-CN201280041417.1有效
发明人：片桐创一;大岛卓;伊东祐博 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2012-09-24 - 公布日： 2014-04-30 - 主分类号： H01J1/304 文献下载
摘要：为了延长场致发射型电子源的寿命，当增加扩散补偿源(1)即氧化锆的容积或重量时，存在容易对扩散补偿源(1)自身或钨针(2)带来损伤这样的课题。作为进一步的课题，还考虑为了避免上述课题而通过薄膜来形成扩散补偿源(1)的情况，但难以稳定得到超过8000小时的实用的寿命。本发明提供一种不会产生扩散补偿源(1)的缺损或破裂，且通过少量的扩散补偿源(1)的增量就能够延长寿命的场致发射型电子源，清楚可知能够稳定得到超过8000小时的实用的寿命。
发射电子

[发明专利]扫描电子显微镜-CN201280039396.X有效
发明人：森下英郎;大岛卓;波田野道夫;伊东祐博 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2012-05-28 - 公布日： 2014-04-16 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：本发明提供一种扫描电子显微镜，为了提供即便是低探针电流也能辨别检测反射电子和二次电子的低加速的扫描电子显微镜而具备：电子枪(29)、光阑(26)、样品台(3)、用于将电子束(31)会聚于样品(2)上的电子光学系统(4-1)、偏转部件(10)、二次电子检测器(8)、反射电子检测器(9)、和处于电子枪(29)与样品(2)之间的位置处的筒状的电子输送部件(5)，反射电子检测器(9)设置在电子输送部件(5)的内部、且与二次电子检测器(8)以及偏转部件(10)相比更靠电子枪(29)的远方侧，反射电子检测器(9)的感受面(9-1)在电气上被布线成与电子输送部件(5)相同电位。
扫描电子显微镜

[发明专利]带电粒子线装置-CN201180066230.2有效
发明人：大南祐介;伊东祐博;胜山正己 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2011-11-02 - 公布日： 2013-09-25 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：提供一种带电粒子线装置、带电粒子显微镜，即便是大型的试料也可以在大气环境或者气体环境下进行观察。在采用分隔真空环境与大气环境(或气体环境)的薄膜的构成的带电粒子线装置中，具备：收纳带电粒子光学系统的带电粒子光学镜筒；将从该带电粒子光学镜筒射出的一次带电粒子线到达所述薄膜的路径维持为真空环境的箱体；相对于装置设置面支承上述带电粒子光学镜筒与第1箱体的机构，作为该支承机构，采用具有用于搬入大型试料的开放口的箱体、或者支柱等箱体以外的形状的机构。
带电粒子线装

[发明专利]扫描电子显微镜-CN200510103948.0有效
发明人：波田野道夫;伊东祐博;富田真一;片根纯一 -专利权人：株式会社日立科学系统
申请日： 2005-09-16 - 公布日： 2006-08-23 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：一种扫描电子显微镜，具有将电子束照射到试样上的照射光学系统，在试样室内放置试样的试样台，在试样台的周围被配置至少一个的电场供给电极，被配置成覆盖电场供给电极那样的离子电流检测电极。
扫描电子显微镜

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